Графитовые зажимы и держатели для печей для поликристаллического кремния — это ключевые компоненты в процессе производства поликристаллического кремния, которые играют незаменимую роль в обеспечении стабильности и эффективности производства.
Графитовые зажимы и держатели для печей для поликристаллического кремния — это ключевые компоненты в процессе производства поликристаллического кремния, которые играют незаменимую роль в обеспечении стабильности и эффективности производства.
В восстанавливающей печи для поликристаллического кремния графитовые зажимы и держатели используются для фиксации кремниевых электродов, выдерживая температуру до 1100°C и воздействие агрессивной среды хлорсиланов. Они изготовлены из высокочистого мелкозернистого графита (чистота ≥99,95%), и благодаря точной обработке обеспечивается плотный контакт с кремниевым электродом, что снижает контактное сопротивление. Конструкция зажима с градиентной пористостью помогает сбалансировать тепловые напряжения и предотвращает трещины при высоких температурах.
Место соединения зажима и держателя разработано с высокой точностью, что облегчает установку и демонтаж, а также обеспечивает удобство в обслуживании и ремонте оборудования. Форма и размеры зажима точно соответствуют поликристаллическому кремнию, обеспечивая стабильную зажимную силу и фиксируя кремниевый стержень в процессе роста, предотвращая его колебания, что способствует качеству роста кристаллов.