Прорывы в полупроводниковой и фотоэлектрической отраслях! Высокоточные графитовые компоненты способствуют модернизации производства микросхем и фотоэлектрических элементов. 

🔍 Технические преимущества продукта

Сверхточная обработка: Благодаря пятиосевой обработке на станках с ЧПУ, допуски на форму и положение компонентов контролируются в пределах ±0,02 мм, что соответствует строгим требованиям полупроводникового оборудования к точности сборки на микронном уровне.

Коррозионная стойкость и стабильность: Графитовая подложка с поверхностным покрытием из SiC сохраняет структурную стабильность даже в условиях плазменного травления, обеспечивая срок службы более чем в два раза больший, чем у традиционных графитовых компонентов.

Индивидуальные решения: Графитовая лодочка, разработанная для фотоэлектрического оборудования PECVD, использует цельнолитой процесс формования для снижения концентрации термических напряжений, уменьшения частоты поломок и повышения выхода годных элементов.

💡 Распространение отраслевых знаний

Полупроводниковая отрасль: В печах Чохральского для монокристаллов тепловое поле, создаваемое такими компонентами, как графитовые изоляционные покрытия и направляющие трубки потока, напрямую определяет содержание кислорода и углерода, а также однородность удельного сопротивления монокристаллических кремниевых стержней, что имеет решающее значение для производства 12-дюймовых кремниевых пластин. Графитовые электроды, используемые в ионных имплантаторах, должны обладать сверхвысокой чистотой и устойчивостью к распылению для обеспечения точности легирования чипа.

В фотоэлектрической области: графитовые диски в оборудовании PECVD являются основными носителями для осаждения антиотражающих пленок нитрида кремния, и плоскостность их поверхности напрямую влияет на однородность пленки солнечных элементов. В новых графитовых дисках используется изостатически прессованный графитовый материал с шероховатостью поверхности Ra≤0,8 мкм, что облегчает массовое производство высокоэффективных технологий солнечных элементов, таких как TOPCon и HJT.

Эта серия продуктов вошла в цепочки поставок ведущих отечественных производителей полупроводникового оборудования и компаний, занимающихся фотоэлектрическими элементами. Благодаря производительности, сопоставимой с ведущими международными брендами, и сокращению цикла поставок на 30%, она ускоряет процесс локализации высокотехнологичного производственного оборудования.